奕帆半導(dǎo)體刻蝕車(chē)間固定式氟氣檢測(cè)儀廠家

簡(jiǎn)要描述：深圳奕帆科技銀色固定式氟氣檢測(cè)儀，壓鑄鋁銀色防爆殼體，IP66 高防護(hù)，ExdⅡCT6 防爆等級(jí)，適配化工、半導(dǎo)體蝕刻車(chē)間 24 小時(shí)在線監(jiān)測(cè)氟氣泄漏。搭載專用電化學(xué)傳感器，T90 響應(yīng)≤25s，測(cè)量精度 ±3% FS，抗鹵素氣體干擾。支持 4-20mA、RS485 雙信號(hào)輸出，可對(duì)接 PLC/DCS 中控系統(tǒng)，自帶多級(jí)聲光報(bào)警，繼電器聯(lián)動(dòng)風(fēng)機(jī)、切斷氣源。奕帆半導(dǎo)體刻蝕車(chē)間固定式氟氣檢測(cè)儀廠家

產(chǎn)品型號(hào)：YF-8500-F2
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2026-07-17
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深圳奕帆科技自研銀色固定式氟氣檢測(cè)儀，專為半導(dǎo)體晶圓刻蝕、清洗工藝場(chǎng)景打造，整機(jī)采用一體化銀色加厚防爆鋁合金機(jī)身，表面鈍化防腐處理，抵御氟氣強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)長(zhǎng)期侵蝕，是半導(dǎo)體工廠氟氣管路、工藝機(jī)臺(tái)、氣瓶存放區(qū) 24 小時(shí)不間斷在線監(jiān)測(cè)核心設(shè)備。氟氣屬于劇毒強(qiáng)腐蝕高危氣體，微量泄漏即可造成人員灼傷、設(shè)備腐蝕、生產(chǎn)線停機(jī)，本款儀器依據(jù)防爆國(guó)標(biāo)研發(fā)，取得 CPA 計(jì)量認(rèn)證、ExdIICT6 隔爆防爆資質(zhì)，防護(hù)等級(jí) IP66，可穩(wěn)定運(yùn)行在濕度 10%-95% RH 無(wú)凝露、-20℃~+50℃寬溫車(chē)間環(huán)境，適配半導(dǎo)體潔凈車(chē)間、危化工藝間防爆安裝要求。

儀器搭載進(jìn)口專用電化學(xué)氟氣傳感器，量程標(biāo)準(zhǔn) 0-10ppm，分辨率 0.01ppm，檢測(cè)精度≤±3% FS，T90 響應(yīng)時(shí)間＜20 秒，泄漏瞬間捕捉濃度變化，杜絕微量泄漏漏報(bào)、遲報(bào)問(wèn)題。機(jī)身搭載 2.4 英寸高清彩色液晶顯示屏，銀色機(jī)身搭配高清背光屏，現(xiàn)場(chǎng)直觀展示實(shí)時(shí)氟氣濃度、高低報(bào)警閾值、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、溫濕度數(shù)據(jù)，支持中英文操作界面，紅外遙控器免開(kāi)蓋標(biāo)定、參數(shù)設(shè)置，無(wú)需專業(yè)拆機(jī)，車(chē)間運(yùn)維人員可快速完成校準(zhǔn)操作。信號(hào)傳輸兼容 4-20mA 三線制模擬信號(hào)、RS485-Modbus RTU 數(shù)字總線，雙信號(hào)同步輸出，最遠(yuǎn) 2000 米穩(wěn)定傳輸，可直接對(duì)接廠區(qū) DCS 中控系統(tǒng)、環(huán)保在線監(jiān)測(cè)平臺(tái)、本地聲光報(bào)警主機(jī)，內(nèi)置 3 組無(wú)源繼電器，超標(biāo)自動(dòng)聯(lián)動(dòng)排風(fēng)風(fēng)機(jī)、工藝設(shè)備停機(jī)、噴淋中和裝置，構(gòu)建全流程安全聯(lián)鎖防護(hù)體系。

模塊化熱插拔傳感器設(shè)計(jì)為本款銀色機(jī)型核心優(yōu)勢(shì)，傳感器獨(dú)立模塊，無(wú)需整機(jī)返廠，現(xiàn)場(chǎng) 5 分鐘即可完成更換、標(biāo)定，大幅降低半導(dǎo)體工廠停機(jī)維護(hù)成本。整機(jī)內(nèi)置多級(jí)防雷、防反接電路，浪涌、錯(cuò)接電源不會(huì)損壞設(shè)備，零點(diǎn)年漂移≤±1% FS，全年運(yùn)行數(shù)值穩(wěn)定，無(wú)需頻繁校準(zhǔn)。機(jī)身銀色噴砂工藝耐磨抗刮，長(zhǎng)期在潔凈車(chē)間、酸堿揮發(fā)環(huán)境不易氧化褪色，壁掛、管道支架兩種安裝方式，配套標(biāo)準(zhǔn)防爆接線盒、固定支架，安裝布線簡(jiǎn)單。

廣泛適配半導(dǎo)體芯片制造、光伏電池刻蝕、特種電子元器件生產(chǎn)車(chē)間，支持企業(yè)環(huán)保備案、安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化驗(yàn)收，奕帆半導(dǎo)體刻蝕車(chē)間固定式氟氣檢測(cè)儀廠家，提供上門(mén)安裝調(diào)試、年度校準(zhǔn)、終身技術(shù)支持服務(wù)，可按需定制 0-5ppm、0-50ppm 特殊量程，選配 NB-IoT 無(wú)線數(shù)據(jù)上傳模塊，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程手機(jī)、電腦實(shí)時(shí)查看廠區(qū)氟氣監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。整機(jī)長(zhǎng)周期穩(wěn)定運(yùn)行，降低車(chē)間安全事故風(fēng)險(xiǎn)，滿足應(yīng)急管理、環(huán)保監(jiān)管雙重監(jiān)測(cè)需求。

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