深圳奕帆科技銀色固定式氦氣檢測儀，適配半導(dǎo)體芯片、晶圓刻蝕、封裝制造車間氦氣工藝環(huán)境監(jiān)測，整機(jī)銀色一體化防爆鋁合金外殼，表面精密拉絲銀色工藝，抗半導(dǎo)體車間潔凈室化學(xué)腐蝕氣體侵蝕，防靜電涂層杜絕靜電擊穿車間精密芯片設(shè)備，防爆、防靜電雙重安全標(biāo)準(zhǔn)，可直接安裝于晶圓工藝管道、氦氣供氣柜周邊。
半導(dǎo)體制造工藝大量使用高純氦氣作為保護(hù)氣、載氣，管道接頭、閥門微量泄漏不僅造成氦氣原料損耗，高濃度氦氣還會造成車間作業(yè)人員缺氧，本設(shè)備搭載進(jìn)口熱導(dǎo)氦氣傳感器，0-100% VOL 寬量程可選，0.01% VOL 超高分辨率，可精準(zhǔn)檢測管道微量氦氣滲漏，實時監(jiān)控工藝腔內(nèi)氦氣純度，保障芯片生產(chǎn)工藝穩(wěn)定，設(shè)備內(nèi)置全量程溫度自動補(bǔ)償電路，車間潔凈室恒溫波動、潔凈水霧環(huán)境下，長期測量數(shù)值穩(wěn)定無漂移，重復(fù)性誤差≤±1%，滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度監(jiān)測需求。
機(jī)身 2.5 英寸高清彩屏，支持實時數(shù)值、濃度曲線雙模式顯示，中英文操作界面，適配外資、國產(chǎn)半導(dǎo)體工廠運(yùn)維人員使用，PPM、% VOL 單位自由切換，屏幕同步顯示設(shè)備運(yùn)行時長、傳感器剩余使用壽命、下次校準(zhǔn)時間。標(biāo)配 4-20mA 模擬量、RS485 Modbus 數(shù)字信號雙輸出，監(jiān)測數(shù)據(jù)直接對接半導(dǎo)體車間工控 PLC、MES 生產(chǎn)管理系統(tǒng)，實現(xiàn)工藝氦氣濃度數(shù)據(jù)實時上傳工廠中控大屏，管理人員遠(yuǎn)程實時查看各工位氦氣監(jiān)測數(shù)據(jù)。
奕帆半導(dǎo)體晶圓制造車間氦氣檢測儀廠家設(shè)備內(nèi)置 2 路無源繼電器輸出，可聯(lián)動車間工藝氦氣輸送電磁閥、潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)，低濃度泄漏僅本地聲光預(yù)警，高濃度氦氣超標(biāo)自動切斷氦氣供氣管道、開啟新風(fēng)系統(tǒng)置換空氣，雙重安全防護(hù)避免生產(chǎn)安全事故與原材料浪費(fèi)。整機(jī) IP66 高防護(hù)等級，前置可拆卸粉塵、水汽過濾器，阻隔潔凈室細(xì)微硅粉、水霧進(jìn)入傳感腔體，有效延長傳感器使用壽命；插拔式智能傳感模塊，出廠預(yù)標(biāo)定，現(xiàn)場直接更換無需二次校準(zhǔn)，降低半導(dǎo)體工廠設(shè)備維護(hù)成本。設(shè)備自帶故障自檢、斷線報警、數(shù)據(jù)恢復(fù)功能，內(nèi)置黑匣子存儲 10 萬條監(jiān)測日志，滿足半導(dǎo)體工廠環(huán)保、安全生產(chǎn)臺賬記錄要求。
奕帆半導(dǎo)體晶圓制造車間氦氣檢測儀廠家
產(chǎn)品型號：YF-8500-He
